在北京机床研究所30多年的研究历程中,针对超精密加工技术所涉及到的相关技术,刘炳业系统地总结出了36个方面的关键前沿研究以及11项领先的核心技术。其中,关键前沿研究包括设计、运动部件、测量分析、工艺技术、主机制造技术和机床应用条件技术六方面内容。领先的核心技术涵盖:精密超精密主轴关键结构制造技术、精密超精密直线运动部件关键结构制造技术、高分辨率运动驱动技术、机床关键零部件的加工工艺制造技术、部件抵御外部干扰的特性技术、高稳定性快速直线运动的结构与制造技术、多运动轴机床的嵌套结构设计技术,以及针对目标零件制造的机床集成制造技术等内容。
“在机床的精度从微米级到纳米级的发展历程中,有三项关键技术无法回避,这三项技术也是纳米精度机床的研究门槛。”刘炳业分析称,其中一项技术是无迟滞的轴承技术,迟滞现象在机械系统中大量存在,迟滞现象不仅严重影响机床溜板的运动定位精度和重复定位的精度,也影响运动的高分辨率实现,同时也影响精密零件的加工形状精度以及表面粗糙度。而静压轴承技术可以很好地解决机械迟滞的现象,并且可以均化几何误差,在超精密机床中得到大量应用。静压技术在过去的十年时间里取得了重大进展,自补偿的反馈技术更为成熟。以流量控制的节流技术使静压轴承的刚度得到很大程度的提升,使超精密机床加工的材料硬度不断提高。