100mm×100mm
200mm×200mm
(可选)
100mm×100mm、200mm×200mm
300mm×300mm、400mm×400mm
500mm×500mm(可选)
温度:13℃~29℃
湿度:5%~75%
要求设备应用环境通风无尘
激光腔体1200mmx190mmx220mm
控制系统550mmx640mmx1100mm