将Leitz高性能的扫描技术应用于新型Leitz Reference Xi,提供了丰富的测量选择:从连接自动旋转测座TESASTAR-m的LSP-X1扫描探测系统,到配备固定式扫描探测系统LSP-X3c 一直到LSP-X5,能够在配备加长探针的情况下保持高精度。